立型多段炉の更新時期を向かえ、多段炉の置き換えに流動炉の採用が増えてきました。
特に、日本下水道事業団が計画を進める地方都市においても焼却炉設置が認められ１0 −60ｔ/日流動炉の建設が増えました。一方、大都市では大型の流動炉の開発が行われ、今まで150ｔ/日以上では乾燥機と組み合わせて流動焼却をしていたのが、１炉で200トン処理が可能になり、大幅なコストダウンをする事が可能になりました。平成3年（1991）には足利市水処理センターにおいて，水処理から発生する‘しさ‘、沈砂を混焼する汚泥流動炉が建設され、運転を開始されました。
平成5年（1993）には仙台市南蒲生処理場にボイラ付き流動炉で蒸気タービン駆動の流動ファンを用いた省エネ流動焼却システムが建設され、運転開始されました。
平成10年（1998）代になると汚泥の発熱量が高くなり流動炉の砂層部での温度の制御が難しくなり、より熱回収の効率を上げる循環式汚泥流動炉の開発が行われだしました。
平成15年（2003）に浜松市西部処理場で循環式汚泥流動炉の1号機が稼動されました。